期刊介绍
Journal of Vacuum Science & Technology B emphasizes processing, measurement and phenomena associated with micrometer and nanometer structures and devices. Processing may include vacuum processing, plasma processing and microlithography among others, while measurement refers to a wide range of materials and device characterization methods for understanding the physics and chemistry of submicron and nanometer structures and devices.
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WOS期刊JCR分区
WOS分区等级:
4区| 按JIF指标学科分区 | 收录子集 | JIF分区 | JIF排名 | JIF百分位 |
| 学科:ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q4 | 289/366 |
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| 学科:NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 131/147 |
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| 学科:PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q4 | 155/187 |
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| 按JCI指标学科分区 | 收录子集 | JCI分区 | JCI排名 | JCI百分位 |
| 学科:ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC | SCIE | Q4 | 292/366 |
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| 学科:NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY | SCIE | Q4 | 123/147 |
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| 学科:PHYSICS, APPLIED | SCIE | Q4 | 151/187 |
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期刊分区表预警名单
2025年03月发布的2025版:不在预警名单中
2024年02月发布的2024版:不在预警名单中
2023年01月发布的2023版:不在预警名单中
2021年12月发布的2021版:不在预警名单中
2020年12月发布的2020版:不在预警名单中
中科院2025年3月升级版
点击查看中国科学院期刊分区趋势图| 大类学科 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
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| 工程技术 3区4区2区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程:电子与电气 | 2区3区4区 | NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 | 2区4区4区 | PHYSICS, APPLIED 物理:应用 | 1区2区4区 |
| 否 | 否 |
中科院2023年12月旧的升级版
| 大类学科 | 小类学科 | Top期刊 | 综述期刊 |
|---|
| 工程技术 3区4区2区 | ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC 工程:电子与电气 | 3区4区4区 | NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY 纳米科技 | 1区4区4区 | PHYSICS, APPLIED 物理:应用 | 1区4区4区 |
| 否 | 否 |